ダイヤモンド研削および微精密研磨ディスク

ダイヤモンド研磨ディスクの使用方法

開始前に確認すべきこと

磁性サポートディスク

磁性サポートディスクの平坦性を確認することは重要です。それが水平でない場合、1"x1"x5"のドレッシングスティックを使用して高い箇所を研磨して水平にすることができます。平坦性を測定するためにストレートエッジを使用してください。ストレートエッジは、磁性ディスクの中心から端までの距離を最低限カバーする必要があります。できるだけ磁性ディスクの全直径をカバーすることが望ましいです。

ディスクを150 rpmで回し、十分な水供給を行ってください。ドレッシングスティックを使用して余分な磁性ラバーを取り除き、ストレートエッジでディスクが平らであることを確認してください。ドレッシングスティックはデブリから暗くなりますが、これは次回のダイヤモンドディスクのドレスアップ時に消えます。磁性サポートディスクは使用が簡単であるため、広く使用されています。しかし、多くの人々は磁性ディスクが適切に機能するためにはメンテナンスが必要であることに気付いていないことがあります。ディスクの磁性表面は柔らかいポリマーでできており、中心領域に作用する持続的な力が材料を外側に流れ出させます。そのため、時間とともに中央がくぼんでしまいます。

2番目の問題は、ディスクの端が連続的に潤滑剤とダイヤモンドサスペンションにさらされ、時間とともに膨らみ、ディスクを外側で高くしてしまうことです。これらの問題のいずれも、サンプルの端に傷を引き起こし、各準備ステップを不必要に長引かせます。したがって、ディスクの水平性を定期的に確認することをお勧めします。

力の設定

これは異なる機械間で最も変動がある可能性がある領域です。さまざまな理由から、力の設定が正確であることを期待できません。金属学的ポリッシャーは、力を生成するために異なる原則を使用し、供給業者は力を測定する標準的な方法に合意していません。さらに、すべての機械は、停止中に力を測定します。このため、1つの機械ブランドでの20 Nは、別のブランドの20 Nと同等でないかもしれません。力が高すぎる場合の兆候は、研削ディスクや研磨クロスの早期摩耗、研磨および研削後にサンプルが熱くなり、重い傷のパターンが表示されます。力が低すぎると、非常に長い研削または研磨時間が通常結果として得られます。

メソッド

準備方法は3つから5つのステップで構成されます。各ステップの目的は、前のステップで作成された変形を取り除き、表面仕上げを向上させることです。新しい方法をテストする際には、各ステップ後にサンプルの表面を確認して、仕上げが必要な要件通りであり、サンプルが次の準備ステップのために準備ができていることを確認するために非常に重要です。これを省略すると、非満足な最終仕上げと、起源を特定するのが難しいアーティファクトが生じる可能性があります。

平面研磨

新しい場合、研削ディスクを使用する前にドレッシングが必要です。ダイヤモンド研削ディスクを磁性サポートディスクに配置し、機械を150 rpmで回転させ、水を供給します。ドレッシングスティックを使用して不均一な表面を取り除きます。これは非常に重要なステップであり、ドレスアップされていないダイヤモンド研削ディスクは非常に効果が悪く、削除量が非常に少なく、深い傷が付きます。

推奨される時間にサンプルを研削した後、表面全体に均等な仕上げがなければならず、完全に平らでなければなりません。仕上げは視覚的に確認でき、平坦性はストレートエッジを使用して確認できます。単一のサンプルの可能性のあるエラーには、平らでない磁性ディスクからの端部に沿った粗い傷が含まれます。また、サンプルの高さが直径の2/3を超えないようにする必要があります。サンプルホルダーでは、サンプルが不均等に切断された場合や、すべてのサンプルを水平デバイスで同じ平面に合わせなかった場合、研削ステップが長くなる可能性があります。サンプルを再水平にするか、研削ディスクグリット80平面研削ステップを追加してください。

微精密研磨

細かい研削ディスクは使用時にダイヤモンド研磨剤を追加する必要があります。試料とダイヤモンドを接触させる効果的な方法のため、大量のダイヤモンドや運転時間は不要です。ダイヤモンド懸濁液を使用する場合、250 mmディスクには約0.5 ml/minを投入することをお勧めします。200 mmディスクでは少なく、300 mmディスクでは多くなります。細かい研削工程が終了したら、試料は均一で半光沢の仕上げを持つべきです。研削工程から目に見える傷がある場合、細かい研削時間を延ばす必要があります。傷が端にある場合、磁気ディスクに問題がある可能性があります。

ダイヤモンド懸濁液の投与

ディスクのサイズと試料の数に応じて、ダイヤモンド懸濁液の投与レベルを0.5 ml/minから1.5 ml/minまでお勧めします。これらの値を確保するために、自動投与システムをダイヤモンド懸濁液で洗浄し、その後、システムが投与した懸濁液を収集して設定を調整することがお勧めされます。ほとんどのトリガースプレー/手動投与ボトルは、トリガーのアクティベーションごとに約0.5 mlを投与します。懸濁液はディスクの中心から約1/3の位置に投与する必要があります。この領域では試料が最も通過するため、ここに投与されたものは準備表面の他の部分に迅速に広がります。投与レベルは、準備ディスクを湿らせるが濡れすぎないように調整する必要があります。過剰な投与は準備時間を短縮することはありません。それどころか、「アクアプレーニング」効果が準備時間を延ばす可能性があります。ダイヤモンド懸濁液を使用する際、研磨クロスに泡が発生すると、過剰投与の明確な兆候です。

研磨

吸水性があるため、すべての研磨クロスは最適な除去率を得る前に特定の準備が必要です。これを行う2つの方法があります：

1. 伝統的な方法として、必要のない2〜3分間にわたってダイヤモンド懸濁液を1 ml/minで予め投与し、検査に必要のないダミーサンプルを1つまたは2つ実行します。
2. より速く、より効果的な方法は、研磨クロスを使用する前に、使用する懸濁液と同じ粒度のダイヤモンドスティックでクロスを浸透させることです。その後、研磨クロスを150 rpmで回転させ、ディスクの中心から外側に向かってダイヤモンドスティックを移動してらせん状の模様を作成します。それから準備を始め、上記のようにダイヤモンド懸濁液を適用します。

研磨工程を実行する際、推奨される時間にかなり近く従うべきです。研磨時間を2または3倍に延長することはお勧めできません。なぜなら、これはおそらく長い研磨時間による角を丸めたサンプルを示す過研磨されたサンプルをもたらすからです。ただし、前の工程からまだ傷が残っている場合、研磨時間を延ばす必要があります。

コロイダルシリカによる最終研磨

コロイダルシリカには乾燥防止剤が含まれていますが、最終的には乾燥して研磨クロスを台無しにすることがあります。これを避ける便利な方法は、準備の最後の10〜20秒の間にクロスを水で洗浄することです。これにより、クロスと試料の両方がきれいになり、CMP反応が中和されます。