光学平板 - 单面和双面
光学平板用于检查基底的平整度。当高质量的光学平板放置在抛光基底上,并与单色光源一起使用时,会形成光带。显示的光环或直线的数量表明零件的平整度。
Kemet光学平板由石英制成,提供单面和双面版本,具有1/4光带精度(可根据要求提供更高精度),尺寸从25mm到600mm直径不等。更大尺寸可按订单定制,提供方形光学平板、矩形光学平板、甜甜圈光学平板以及定制光学平板厚度等配置。所有光学平板均附有符合性证书,并具有完整的国际标准追溯性。特殊光学平板可根据要求提供。
光学平板显示基底上的光带。
定期校准光学平板非常重要,Kemet提供lambda/20精度的校准服务,使用4英寸和12英寸干涉仪来测量光学平板的平整度,并提供干涉图和检查证书。
光学平板清洁/护理套件
同样,使用Kemet的光学平板清洁/护理套件对光学平板进行维护也非常重要,因为特别的护理将确保其精度和长期使用。
大尺寸光学平板
1/4光带。Lambda/8 | |||
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直径 | 单面 | 双面 | |
毫米 | 英寸 | ||
330 | 13 | ||
350 | 14 | ||
400 | 16 | ||
450 | 18 | ||
500 | 20 |
1光带。Lambda/2 | |||
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直径 | 单面 | 双面 | |
毫米 | 英寸 | ||
600 | 24 |
光学平板支架
上述光学平板需要光学平板支架,以保护光学平板和被检测的基底。150 - 350mm尺寸的台式光学平板支架和350 - 600mm尺寸的落地式光学平板支架。
尺寸(毫米) | 1/4光带光学平板(Lambda/8) | 1/10光带光学平板(Lambda/20) | |||
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直径 | 厚度 | 单面 | 双面 | 单面 | 双面 |
25 | 10 | 361220 | 361237 | 361221 | 361238 |
50 | 10 | 361222 | 361215 | 361223 | 361239 |
75 | 15 | 361224 | 361705 | 361225 | 361240 |
100 | 17 | 361226 | 361210 | 361227 | 361241 |
125 | 20 | 361228 | 361242 | 361229 | 361214 |
150 | 25 | 361123 | 361216 | 361231 | 361243 |
200 | 30 | 361232 | 361219 | 361233 | 361244 |
250 | 35 | 361234 | 361217 | 361235 | 361245 |
300 | 40 | 361218 | 361246 | 361236 | 361247 |
光学平板翻新
随着时间的推移,光学平板可能会划伤和/或碎裂,这样它就不能再使用或重新校准,除非经过翻新。对于小型光学平板(小于4英寸/100毫米),根据损坏程度,购买新光学平板可能更具成本效益,但对于较大的光学平板,Kemet提供lambda/20精度的再制造/翻新/校准服务,使用干涉仪和连续抛光机进行处理。与校准服务一样,翻新的光学平板也会提供干涉图和检查证书。
以下显示了一些返回Kemet进行校准(轻微划伤)、重新抛光和校准(严重划伤)以及完全翻新(严重划伤和/或碎裂 - 碎片被研磨并抛光)的光学平板示例。请联系Kemet获取报价。
使用光学平面与单色光源
被检查的表面必须平滑且具有反射性,以便光线能够通过光学平面反射回来。
在非常坚硬的材料上,如硬化合金钢,研磨后的表面通常会反射足够的光线,从而提供准确的读数。对于软材料,如黄铜、铜、软钢等,必须通过在抛光介质上摩擦零件来抛光表面。
操作员在使用类似手工研磨时的“八”字动作时,应确保零件保持正确的姿势,避免对抛光表面造成任何变形。如果彻底清洁掉所有研磨介质和磨料,大多数零件的抛光效率会更高。
光学平面调整
当零件已被抛光至具有反射性后,将其放置在单色光源下。光学平面和零件必须保持清洁和干燥。如果需要,可用无绒材料如镜头纸或骆驼毛刷进行清洁。
光学平面应直接放置或移除于待检查的表面。绝不要将光学平面滑过零件表面,这会刮伤光学平面并缩短其使用寿命。
光带的宽度取决于始终存在于两部分之间的空气楔形的厚度。表面上的微小灰尘或污垢会使光学平面与零件表面保持足够的距离,从而使光带非常狭窄且紧密。通过更多的清洁或轻轻按压光学平面来排出一些空气,可以减少空气楔形的厚度。随着空气楔形厚度的减小,光带变宽。光带的宽度或光带的数量不会影响表面测量,只会影响准确读取的难易程度。光带只需要足够宽,以便准确解读其曲率。